四氯化硅生产工艺
硅铁氯化法先将硅铁加入氯化炉内，然后加热至300℃左右，以7.5 m3/h通人氯气进行反应生成四氯化硅，经冷凝后，得到粗品四氯化硅。将锑粉(为四氯化硅重量的0.05%)加入粗四氯化硅中进行精馏，经回流30 min然后取56～59℃的馏分，制得工业级四氯化硅成品。其
Si+2C12→SiCl4
将工业级四氯化硅进一步精馏并长时间回流，可制得高纯四氯化硅。
硅铁氯化法先将硅铁加入氯化炉内，然后加热至300℃左右，以7.5 m3/h通人氯气进行反应生成四氯化硅，经冷凝后，得到粗品四氯化硅。将锑粉(为四氯化硅重量的0.05%)加入粗四氯化硅中进行精馏，经回流30 min然后取56～59℃的馏分，制得工业级四氯化硅成品。其
Si+2C12→SiCl4
将工业级四氯化硅进一步精馏并长时间回流，可制得高纯四氯化硅。