| 四氟甲烷安全技术说明书 | ||||
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标
识 |
中文名： | 四氟甲烷；四氟化碳 | ||
| 英文名： | Tetrafluoromethane；Carbon tetrafluoride | |||
| 分子式： | CF４ | 分子量： | 88.01 | |
| 结构式： | ||||
| CAS号： | 75-73-0 | RTECS号： | FG4920000 | |
| HS编码： | UN编号： | 1982 | ||
| 危险货物编号： | 22033 | IMDG规则页码： | 2182 | |
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理 |
外观与性状： | 无色无臭气体。 | ||
| 主要用途： | 用作低温致冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻。 | |||
| 熔点： | -183．6 | 沸点： | -128．0 | |
| 相对密度(水=1)： | 1．61／-130℃ | 相对密度(空气=1): | 无资料 | |
| 饱和蒸汽压(kPa)： | 13．33／-150．7℃ | 溶解性： | 不溶于水。 | |
| 临界温度(℃)： | -45．5 | 临界压力(MPa)： | 3．74 | |
| 燃烧热(kj/mol)： | 无意义 | |||
| 燃 烧 爆 炸 危 险 性 |
避免接触的条件： | |||
| 燃烧性： | 不燃 | 建规火险分级： | 戊 | |
| 闪点(℃)： | 自燃温度(℃)： | 无意义 | ||
| 爆炸下限(V%)： | 无意义 | 爆炸上限(V%)： | 无意义 | |
| 危险特性： | 若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。 | |||
| 燃烧(分解)产物： | 氟化氢。 | 稳定性： | 稳定 | |
| 禁忌物： | 强氧化剂、易燃或可燃物。 | 聚合危害： | 不能出现 | |
| 灭火方法： | 不燃。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。 | |||
| 包 装 储 运 |
危险性类别： | 第2.2类不燃气体 | 危险货物包装标志： | 5 |
| 包装类别： | Ⅱ | |||
| 储运注意事项： | 不燃性压缩气体。储存于阴凉、通风仓间内。仓温不宜超过30℃。远离火种、热源。防止阳光直射。应与易燃、可燃物分开存放。验收时要注意品名，注意验瓶日期，先进仓的先发用。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。 废弃：根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。 包装方法：钢质气瓶。 | |||
| 毒 性 危 害 |
接触限值： | 中国MAC：未制定标准苏联MAC：未制定标准美国TWA：未制定标准美国STEL：未制定标准 | ||
| 侵入途径： | 吸入 | |||
| 毒性： | ||||
| 健康危害： | 能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。 | |||
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急 |
皮肤接触： | |||
| 眼睛接触： | ||||
| 吸入： | 脱离现场至空气新鲜处。必要时进行人工呼吸。就医。 | |||
| 食入： | ||||
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防 |
工程控制： | 生产过程密闭，全面通风。 | ||
| 呼吸系统防护： | 高浓度环境中，建议佩带供气式呼吸器或自给式呼吸器。 | |||
| 眼睛防护： | 一般不需特殊防护。 | |||
| 防护服： | 穿工作服。 | |||
| 手防护： | 一般不需特殊防护。 | |||
| 其他： | 避免高浓度吸入。进入罐或其它高浓度区作业，须有人监护。 | |||
| 泄漏处置： | 迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并隔离直至气体散尽，建议应急处理人员戴自给式呼吸器，穿相应的工作服。切断气源，通风对流，稀释扩散。如有可能，即时使用。漏气容器不能再用，且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。 法规信息：化学危险品安全管理条例（1987年2月17日国务院发布），化学危险品安全管理条例实施细则（化劳发[1992]677号），工作场所安全使用化学危险品规定[1996]劳部发423号）法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定；常用危险化学品的分类及标志（GB13690－92）将该物质划为第2.2类不燃气体。 | |||
四氟甲烷安全技术说明书
非售品
CAS：75-73-0
分子式：CF4
分子量：88