CAS： 7783-82-6
分子式： WF6
分子量： 297.84

中文名称： 六氟化钨

英文名称： Tungsten fluoride

性质描述：无色气体或淡黄色液体。有强刺激性。有毒，其毒性与氟相似。温度很低时呈白色固体。能溶于有机溶剂并产生特殊的颜色。遇水分解。在空气中被潮气分解而强烈冒烟，生成黄钨酸或三氧化钨。化学性质活泼。几乎能和所有的金属(除金和铂)反应。对镍、蒙乃尔合金和不锈钢也有腐蚀性，但Ni和不锈钢可抗其腐蚀性。干燥状态时，对玻璃的腐蚀性较弱，而在湿气中则能迅速反应。与气态氨反应强烈。能被氨水或碱所吸收。与碱金属氟化物可成复盐。溶于苯等多种有机溶剂。

用途:六氟化钨（WF6）是唯一能稳定存在的钨的氟化物，具有极强的腐蚀性，可根据外界环境的变化表现出灵活的物化性能，被广泛应用于工业生产的各个领域。六氟化钨在电子工业中主要作为集成电路的配线材料使用，其在经过化学气相沉积工艺后可形成金属钨导体膜，钨导体膜在集成电子学中通常被用作高传导性的互连金属、金属层间的通孔和垂直接触的接触孔以及铝和硅间的隔离层，因此被广泛应用于半导体集成领域；另外，六氟化钨还可以应用于太阳能吸收器以及X射线发射电极的制造、导电浆糊等电子元器原材料。

（1）一种强氟化剂，用于气相沉积法制钨膜。
（2）在微电子工业中用作化学气相淀积硅化钨或钨，以制作低电阻、 高熔点的互连线。